易福門(mén)IFM電容式傳感器使用中，為改善非線(xiàn)性，提高靈敏度及克服某些外界條件如電源電比、環(huán)境溫度變化的影響等、常常采用茲動(dòng)式結構，在未開(kāi)始測量的初始狀態(tài)時(shí)，將可動(dòng)極板調整友中間位置，位兩邊電容相等；測量時(shí)。中間極板跟隨被測對象上下移動(dòng)，就會(huì )引起上下兩部分的電容量上增下減或上減下增，所以?xún)蛇呺娙莸目刂颠@樣提高了靈敏廢，易福門(mén)IFM電容式傳感器這時(shí)在零點(diǎn)附近作的線(xiàn)性度也得到了改善。

易福門(mén)IFM電容式傳感器用一個(gè)固定極扳和一個(gè)可動(dòng)極板構成：可動(dòng)極板由被測金屬平面充當。當電容式傳感器極板間距因被測量變化而變化時(shí)，電容變化量為極距是時(shí)的初始電容量。極板間距的變化不是線(xiàn)性關(guān)系說(shuō)明該類(lèi)型電容式傳感器存在著(zhù)原理性非線(xiàn)性誤差，即量程遠小于兩極板問(wèn)的初始距離)時(shí)，可以認為么是線(xiàn)性關(guān)系，因此，這種類(lèi)型的易福門(mén)IFM電容式傳感器一般用來(lái)測量微小的位移變化量。電極表面的平面度對靈敏應有影響，同時(shí)還容易引起電容器擊穿，因此，極板間距不能無(wú)限小。改善的辦法是在極板間增放一片云母片或塑料膜。云母的相對介電系數為空氣的7倍其擊穿電壓不小于l0的3次方kv/mm，易福門(mén)IFM電容式傳感器而空氣的擊穿電壓僅為3kv/mm，即使厚度為0.01mm的云母片，它的擊穿電壓也術(shù)小于10kv/mm。

易福門(mén)IFM電容式傳感器電容檢測的精度提出了很高的要求，尤其是在傳感器的研發(fā)過(guò)程中，往往需要*精度的電容檢測設備對傳感器進(jìn)行測試與調校。但是一直以來(lái)國內外都缺乏能夠對微小電容進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測的儀器，普遍的做法是針對所研發(fā)的傳感器自行設計、制做專(zhuān)門(mén)的電容檢測電路，這無(wú)疑增加了易福門(mén)IFM電容式傳感器設計的難度與工作量。針對這一問(wèn)題，我們設計了通用的電容式傳感器檢測系統。該系統能夠對微小電容進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測，并可以通過(guò)上位機實(shí)現實(shí)時(shí)顯示、存儲等功能。